美國派克PARKER氣動隔膜閥應(yīng)用參數(shù) 

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930 系列隔膜閥（1-1 / 8英寸的閥體尺寸）可用于各種手動操作和氣動執(zhí)行器操作。它擁有優(yōu)異的性，泄漏完整性和清潔度，使其在UHP半導(dǎo)體行業(yè)中成為的應(yīng)用。

這些材料結(jié)合930系列嚴格的設(shè)計特點，給予了930系列產(chǎn)品在入口壓力高達300 psig時的耐腐蝕性和更大循環(huán)使用壽命。

930系列氣動閥可以配置限位開關(guān)或接近開關(guān)，用以提供開-關(guān)位置指示。還有多種閥體構(gòu)造可選，包括930Y系列(Y型閥）和SM930系列(面板安裝)。

930系列閥門上內(nèi)部(閥座）密封件和密封外的金屬部件均通過質(zhì)譜儀進行氦氣泄露測試，以適應(yīng)在苛刻的UHP應(yīng)用中，保有其性能和穩(wěn)定性。

派克930系列1-1/8英寸不銹鋼閥體隔膜閥提供優(yōu)異的泄漏完整性，高循環(huán)使用壽命和顆粒發(fā)生，非常適用于UHP半導(dǎo)體應(yīng)用。

930系列采用不與過程流體接觸無螺紋或彈簧設(shè)計，可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和截留，減少半導(dǎo)體應(yīng)用中必不可少的工藝污染。該系列閥門的嚴格設(shè)計，控制閥座和隔膜應(yīng)力，以提供穩(wěn)定和免維護的使用壽命

特點與YS:

·電拋光表面光潔度:5微英寸(Ra)·高循環(huán)使用壽命（包括耐腐蝕性服務(wù))

·內(nèi)部無彈簧和無螺紋設(shè)計可大限度地減少顆粒產(chǎn)生和氣體截留·全壓力范圍使用:從真空到300 psig

·內(nèi)部泄漏率: ≤1× 10-9 scc / sec He·外部泄漏率:≤2×10-10 scc / sec He·AOP驅(qū)動，額定壓力為75 psig

應(yīng)用:

·腐蝕性氣體和特種氣體·半導(dǎo)體工具

·工具連接·燃氣柜

·閥組箱(VMB)

930系列閥門潤濕部件由特種金屬制成，提供的耐腐蝕性和泄漏完整性。閥體是內(nèi)部采用電拋光處理的VericleanTM 316L不銹鋼材質(zhì)。

Vericlean”是派克的UHP級不銹鋼。隔膜是高強度鈷基合金材質(zhì)。930系列還提供聚三氟氯乙烯（PCTFE)，聚配迷醚酮樹脂（PEEKR）和聚酰亞胺(Vespel@）材質(zhì)的閥座，可使930閥門與多種工藝流體相兼容。

市場:·半導(dǎo)體·分析實驗室·制藥

·生物制藥·航空航天·工業(yè)

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