安裝及調(diào)試日本CKD小型流量傳感器

FSM2-NVF100-H041技術(shù)資料

吸收FSM系列的YS并實(shí)現(xiàn)了更大的進(jìn)步。

繼承了優(yōu)異的應(yīng)答性，量程擴(kuò)大到了1000L/min。

采用雙畫面和雙色顯示，并搭載自動(dòng)參考功能，操作便利性大幅度提高。

此外，實(shí)現(xiàn)了雙向測(cè)量，注入了新價(jià)值。

流量量程增大

保持大流量，結(jié)構(gòu)小型化

實(shí)現(xiàn)雙向流體測(cè)量

精度提高 不過(guò)±3%FS

在以往的流量量程（0.5、1、5、10、20、100 L/min）之上增加

了2、200、500、1000 L/min四個(gè)類型。

雙畫面顯示和雙色顯示功能

流量欄表示功能

、應(yīng)用于各種領(lǐng)域中

小型流量感測(cè)器可以用在機(jī)械、汽車、計(jì)量?jī)x器、儀器等領(lǐng)域和半導(dǎo)體、

生物等尖端領(lǐng)域以及醫(yī)療、食品領(lǐng)域等上，用途非常廣泛多樣。

適用流體

感測(cè)器的用途

自動(dòng)參考功能

高速應(yīng)答 不過(guò)50msec

利用表示一體型設(shè)計(jì)，通過(guò)設(shè)置主畫面和輔助畫面，提高了操作

的靈活性。

而且，利用雙色顯示，發(fā)生異常時(shí)一看便知。

在表示分離型中，通過(guò)流量欄表示，可以一目了然地掌握目標(biāo)流

量。

通過(guò)按鈕操作或者外部輸入，可以自動(dòng)獲取開關(guān)輸出的設(shè)定值。

完全避免了繁瑣的設(shè)定過(guò)程。

通過(guò)采用了硅微細(xì)加工技術(shù)白金感測(cè)器小片，實(shí)現(xiàn)了高速應(yīng)答。

有助于縮短間隔時(shí)間。

流量量程為500、1000 L/min這兩個(gè)類型，是以往體積的30%。

實(shí)現(xiàn)了行業(yè)首屈一指的小型化。

各種泄露檢查

針孔檢查

離子化器的吹掃氣體確認(rèn)

焊接氣體的管理

吹掃氣體的流量管理

落座確認(rèn)

吸附確認(rèn)

可以直接測(cè)量泄露流

量。即便是微壓，由于

輸出與針孔成正比，

因此也可以用來(lái)判斷

有否故障、確認(rèn)狀態(tài)

情況。

可處理的流量量程大。

內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可

以輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。

有助于設(shè)備的小型化、輕量化。

表示一體型、雙向型可以任意設(shè)置流向進(jìn)行測(cè)量。

管線安裝的自由程度得到了很大提高，同時(shí)還可以用來(lái)探測(cè)逆流。

精度達(dá)到了±3%FS，實(shí)現(xiàn)了更為準(zhǔn)確的流量測(cè)量。

可處理的流量量程大。

①與壓力感測(cè)器不相上下的高速應(yīng)答（應(yīng)答由管線的內(nèi)容積、壓力等決定）

②由于是通過(guò)流量探測(cè)的，因此不存在因壓力的變化而引起的調(diào)節(jié)、誤檢情形。

③可以探測(cè)出噴嘴或過(guò)濾器的孔口堵塞。

④通過(guò)流量探測(cè)，可以有效管理傾斜吸附等吸附錯(cuò)誤。

利用壓力感測(cè)器時(shí)有時(shí)差壓過(guò)小而無(wú)法判別，此

時(shí)根據(jù)流量可以準(zhǔn)確地進(jìn)行判別。

激光激發(fā)器、半導(dǎo)體制造裝置的N2氣體管理

處置的流量量程大。

內(nèi)嵌速控器型（特別訂購(gòu)品）可以

輕松對(duì)流量進(jìn)行控制。

生活工業(yè)

食品、醫(yī)療

液晶

汽車

半導(dǎo)體

電子零組件

機(jī)械制造

汽車等

各種泄露檢查

離子化器的流量管理

焊接氬、碳酸氣的流量管理

涂裝氣體的流量管理

吹掃氣體的流量管理

吸附確認(rèn)

與壓力感測(cè)器相比較（噴嘴直徑為Ф0.3、真空壓力為-70kPa時(shí)）

小型流量感測(cè)器（使用FSM2-※010時(shí)） 壓力感測(cè)器

落座確認(rèn)

流量差 ：830mL/min

吸附 吸附

一目了然

壓力差 ：2kP

FSM系列

FSM2系列

是以往體積的

30%

（1000 L/min類型）

詳情請(qǐng)參閱P29

正方向 雙向 反方向

詳情請(qǐng)參閱P25

詳情請(qǐng)參閱P25

詳情請(qǐng)參閱P28

流量欄表示

流量單位

主畫面（顯示瞬時(shí)流量）

〈雙色顯示〉

輔助畫面（流向等）

機(jī)型種類 尺寸

小型、輕量 高速應(yīng)答 開關(guān)輸出 模擬輸出 大流量型

反方向

雙向

正方向

分離型 一體型

主體材質(zhì)

保持感測(cè)器性能，實(shí)現(xiàn)防范故障于未然。

頁(yè)碼

目錄No.

頁(yè)碼

應(yīng)答速度 顯示器 材質(zhì) 輸出方

此產(chǎn)品的安裝調(diào)試方式

水平安裝 ( 使用貫通孔 )

托座安裝 ( 使用專用托座 )

垂直安裝 ( 使用底面內(nèi)牙 )

連接口徑：?jiǎn)斡|φ4、φ6、φ8、φ10

 Rc1/8、Rc1/4、M5

單個(gè)托座型號(hào)：FSM2-LB1

連接口徑：Rc1/2

單個(gè)托座型號(hào)：FSM2-LB2

水平安裝 ( 使用貫通孔 )

托座安裝 ( 使用專用托座 )

垂直安裝 ( 使用底面內(nèi)牙 )

連接口徑：?jiǎn)斡|φ4、φ6、φ8、φ10

 Rc1/8、Rc1/4、M5

單個(gè)托座型號(hào)：FSM2-LB1

連接口徑：Rc1/2

單個(gè)托座型號(hào)：FSM2-LB2

安裝及調(diào)整時(shí)

連接連接器后請(qǐng)務(wù)必安裝連接器防護(hù)罩。

直接電纜的引出部位及連接器部不要形成壓力。

請(qǐng)停止控制裝置、機(jī)械裝置后，在切斷電源的狀態(tài)

下進(jìn)行布線。如果使裝置過(guò)快運(yùn)行有時(shí)裝置會(huì)進(jìn)行

異常動(dòng)作，這樣非常危險(xiǎn)。請(qǐng)先使控制裝置、機(jī)械

裝置保持停止?fàn)顟B(tài)進(jìn)行通電試驗(yàn)，并進(jìn)行開關(guān)數(shù)

據(jù)設(shè)定。操作前、操作中請(qǐng)將人體、工具、裝置所

帶的靜電充分放電后進(jìn)行操作?；顒?dòng)部請(qǐng)使用類似

機(jī)器人用線材的具有耐屈曲性能的線材進(jìn)行連接布

線。請(qǐng)不要過(guò)電源電壓范圍使用。如果施加過(guò)使用

范圍的電壓或交流電源，則可能導(dǎo)致本產(chǎn)品破裂或

燒毀。

本產(chǎn)品及布線設(shè)置時(shí)請(qǐng)遠(yuǎn)離強(qiáng)電線等嗓音源。電源

線產(chǎn)生的浪涌請(qǐng)另行采取措施。有時(shí)顯示或輸出會(huì)

有變動(dòng)。

負(fù)荷請(qǐng)不要短路。因?yàn)榭赡軐?dǎo)致本產(chǎn)品破裂或燒

毀。

金屬主體(不銹鋼主體、鋁主體)型用電源請(qǐng)使用與

交流一次端完全絕緣的DC穩(wěn)定電源，F(xiàn).G.連接電源

側(cè)的＋側(cè)或－側(cè)的某一側(cè)后使用。為防止感測(cè)器的

絕緣損壞，金屬主體型的內(nèi)部電源回路和金屬主體

之間連接有變阻器(限制電壓約40V)。金屬主體型

的內(nèi)部電源回路和金屬主體之間不要實(shí)施耐電壓試

驗(yàn)和絕緣電阻試驗(yàn)。需要實(shí)施這些試驗(yàn)時(shí)請(qǐng)將布線

拆下后實(shí)施。電源和金屬主體之間的過(guò)大電位差會(huì)

燒毀內(nèi)部零組件。此外，金屬主體型的本產(chǎn)品設(shè)置、

連接、配線后，裝置、機(jī)架的電焊或短路事故的焊

接電流或焊接時(shí)過(guò)渡性高電壓、浪涌電壓等會(huì)導(dǎo)致

與連接上述元件間的回路、接地線或流體回路產(chǎn)生

電壓泄露，后使電線或元件損壞。請(qǐng)?jiān)谌坎鹑?/p>

主機(jī)或電線F.G.連接后進(jìn)行電焊等操作。

金屬主體利用OUT側(cè)釋放使用時(shí)也請(qǐng)務(wù)必連接接

頭。否則可能導(dǎo)致孔口過(guò)濾器脫落。

如果使用單觸接頭，則插入管子，在確認(rèn)管子不能

拔出后再使用。此外，管子請(qǐng)務(wù)必使用專用切刀切

成直角后使用。