產(chǎn)品特點(diǎn)壓力開關(guān)SUNX，GX-8MU

如上所述，根據(jù)傳感器的檢測(cè)信號(hào)讀取晶圓位置時(shí)，

請(qǐng)考慮反應(yīng)時(shí)間，算出信號(hào)ON區(qū)域的中間位置。

如左圖所示，由于交叉狀態(tài)的間距變小，

因此，高反射率的晶圓需要的間距分解能力(極限值3mm)下降，可能導(dǎo)致兩種檢測(cè)信號(hào)不分離。

并且檢測(cè)信號(hào)會(huì)因靈敏度設(shè)定、晶圓光反射率或檢測(cè)狀態(tài)(檢測(cè)距離或檢測(cè)角度)而變化。

因此，傾斜插入晶圓時(shí)，窄間距側(cè)兩種信號(hào)發(fā)生重疊，檢測(cè)信號(hào)有時(shí)連續(xù)有時(shí)分離。

對(duì)于晶圓盒內(nèi)帶定位邊的晶圓，可能會(huì)因定位邊的位置

而導(dǎo)致在兩次檢測(cè)之中，有一次傳感器穿過定位邊而無法檢測(cè)。

因此，傾斜插入晶圓時(shí)可能無法輸出分離的檢測(cè)信號(hào)。

此時(shí)，根據(jù)檢測(cè)信號(hào)算出的晶圓位置信息必定是異常狀態(tài)。

使用安全的紅色LED作為光源，無需任何繁雜的安全措施。

無需使用激光時(shí)必備的保護(hù)罩，在美國使用時(shí)不需要符合FDA標(biāo)準(zhǔn)。

使用ONE SHOT連接器將檢測(cè)頭與控制器連接。配線工時(shí)降至 限度，維護(hù)輕松。

在「檢測(cè)帶定位邊的晶圓」時(shí)一項(xiàng)中，

如果在避開晶圓定位邊的位置安裝傳感器，

則晶圓盒內(nèi)交叉狀態(tài)的間距如下圖變化。

水、油、指紋等會(huì)使光線折射、灰塵和垃圾等會(huì)阻斷光線。

為了進(jìn)一步安全動(dòng)作，通過FMEA※追求更高安全性。

使用控制器的安全輸入功能，可輸入控制器的過渡接線、緊急停止開關(guān)和安全門開關(guān)等的安全用接點(diǎn)

(2NC)。將安全輸出集中到一個(gè)，力求節(jié)省安全回路的配線、降成本。

利用毛細(xì)管現(xiàn)象，迅速檢測(cè)少量的漏液和帶粘性的液體。

投、受光部一體型，無需繁瑣的光軸調(diào)整。

并且，檢測(cè)距離及檢測(cè)寬度可以覆蓋30mm的廣闊區(qū)域，可對(duì)應(yīng)各種不同尺寸的晶圓。

模擬輸出(1～5V)除了系數(shù)調(diào)整功能之外，

還具備方便的偏移調(diào)整功能，可在±0.5V的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)換模擬電壓。

安裝檢測(cè)頭時(shí)，如下圖所示，使用2個(gè)M4內(nèi)六角螺栓(請(qǐng)另行準(zhǔn)備)，以0.5N·m以下的扭矩緊固。

請(qǐng)勿拆下固定投、受光器和安裝基座的固定螺絲。否則，輸出值會(huì)變化。

請(qǐng)勿使用投、受光器側(cè)面的安裝孔以螺絲安裝。

按箭頭方向推入擋塊(鎖定)后，將安裝部前部嵌入35mm寬的DIN導(dǎo)軌中。

將安裝部后部壓住35mm寬的DIN導(dǎo)軌并嵌入其中。

為側(cè)面安裝式的約10mm薄型，因此在狹小空間內(nèi)也可使用。

根據(jù)晶圓尺寸計(jì)算出的間距如下表所示。

檢測(cè)頭和控制器的總消耗電流為70mA以下。實(shí)現(xiàn)光電傳感器同等的功耗。

雖然使用紅色LED作為光源，但仍然具有激光傳感器同樣的高性能，因此可實(shí)現(xiàn)檢測(cè)。

拆卸時(shí)，將一字螺絲刀插入擋塊的凹槽中，向后拉出。

使用螺絲進(jìn)行安裝時(shí)，請(qǐng)使用M4盤頭螺絲，并將緊固扭矩設(shè)為1.2N·m以下。

控制器的模擬輸出未裝備短路保護(hù)電路。請(qǐng)勿直接連接電源或容性負(fù)載。

配線時(shí)請(qǐng)注意不要對(duì)連接器施加靜電。否則會(huì)導(dǎo)致故障。

配線錯(cuò)誤會(huì)導(dǎo)致故障。

控制器的電纜延長(zhǎng)時(shí)，可通過截面積為0.3mm2以上的電纜將全長(zhǎng)延長(zhǎng)至3m。

檢測(cè)頭電纜的長(zhǎng)度不能變更。

請(qǐng)勿對(duì)電纜引出部施加強(qiáng)行彎曲或拉曳等應(yīng)力。否則會(huì)導(dǎo)致斷線。

直流電源請(qǐng)務(wù)必使用絕緣變壓器。使用自動(dòng)變壓器(自耦變壓器)時(shí)，有時(shí)會(huì)損壞本體和電源。

使用電源發(fā)生電涌時(shí)，請(qǐng)將發(fā)生源與電涌吸收器連接，以吸收電涌。

使用時(shí)，請(qǐng)避開電源接通時(shí)的過渡狀態(tài)(0.5s)。

本產(chǎn)品輸出LED光的受光量。檢測(cè)寬度中心部分和

周圍部分的光強(qiáng)度不同，因此，不能尺寸精度，敬請(qǐng)注意。

無需用調(diào)節(jié)器進(jìn)行靈敏度調(diào)節(jié)，因此初始安裝非常簡(jiǎn)單。

此傳感器配備有一個(gè)正常指示燈(綠色)，當(dāng)安裝正確時(shí)亮起，

另外還有一個(gè)錯(cuò)誤指示燈(紅色)，當(dāng)檢測(cè)到有滲漏或安裝錯(cuò)誤

(忘記安裝專用支架)時(shí)亮起。因此，工作非常容易檢查。

傳感器安裝不正確或電纜被切斷時(shí)，成為非入光狀態(tài)，可取得與“有滲漏”一樣輸出。

便于安裝：SUS安裝支架只需用到一個(gè)螺絲，

PVC安裝支架只需要到兩個(gè)螺絲或一塊膠布。

漏液后進(jìn)行復(fù)原作業(yè)時(shí)，也無需更換零件。外形簡(jiǎn)單，易擦去漏液。

備有PVC(聚氯乙烯)安裝支架。此種安裝支架可在能腐蝕普通金屬支架的環(huán)境中放心使用。

本體外殼和電纜使用具有耐藥性的氟樹脂。 硫酸、鹽酸等滲漏時(shí)也能精 確檢測(cè)。

外形簡(jiǎn)單，易擦去漏液。并且不用更換零件。

內(nèi)置放大器， 為厚9mm、寬26mm、高19mm的小型規(guī)格?？稍讵M窄空間使用。

請(qǐng)避免讓檢測(cè)頭的投、受光面粘附這些物質(zhì)。

如有附著，請(qǐng)用干凈的軟布或擦鏡頭紙等擦拭干凈。

測(cè)定物體為鏡面體或透明體時(shí)，可能無法正確測(cè)定，敬請(qǐng)注意。

在傳感器背面設(shè)置前端和中心部?jī)蓚€(gè)檢測(cè)部。傳感器前方發(fā)生漏液時(shí)，

如果前端檢測(cè)部檢測(cè)微量的初期漏液，漏液增多直至中心部，則傳感器檢測(cè)到異常漏液。

以往，漏液的雙重檢測(cè)是在不同的高度設(shè)置兩臺(tái)傳感器，現(xiàn)在一臺(tái)傳感器即可檢測(cè)。

在現(xiàn)有設(shè)備中增添或替換單件傳感器，均可表現(xiàn)出2級(jí)檢測(cè)的YS。

SQ4系列不僅能檢測(cè)漏液，還能檢測(cè)忘記設(shè)置傳感器等人為錯(cuò)誤和傳感器的異常狀態(tài)。

傳感器本體或各安裝件脫落、安裝不妥、電纜斷線時(shí)呈非入光狀態(tài)，與“發(fā)生漏液”一樣發(fā)出相關(guān)異常信息。

SQ4系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的安全性已符合標(biāo)準(zhǔn)。

為了達(dá)到可評(píng)價(jià)可編程電子控制系統(tǒng)等的功能安全的目的，

在以往的風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估系統(tǒng)(控制類別)中附加了概率論，形成更新后的ISO 13849-1：2006。

傳感器《SQ4-A》和控制器《SQ4-C11》的組合符合類別4/PLe/SIL3。

傳感器單體也符合類別1/PLc/SIL1。

控制器配備兩個(gè)獨(dú)立的CPU，相互檢查動(dòng)作狀態(tài)。

信號(hào)處理回路和輸出回路雙重設(shè)置，確保安全性。

產(chǎn)品特點(diǎn)壓力開關(guān)SUNX，GX-8MU