結(jié)構(gòu)方式標(biāo)準(zhǔn)型真空吸盤(pán)KOGANEI,小金井檢測(cè)方式
本產(chǎn)品的異常輸出電路在電源接通約1秒鐘后開(kāi)始正常動(dòng)作。在
設(shè)計(jì)裝置安裝時(shí)的異常檢測(cè)電路時(shí),應(yīng)加以充分注意。
關(guān)閉除靜電器本體的電源后,若立即接通電源,會(huì)產(chǎn)生異常輸
出。關(guān)閉后需要重新接通時(shí),應(yīng)間隔1秒鐘以上。
關(guān)閉除靜電器本體的電源后,可能會(huì)產(chǎn)生異常輸出。
設(shè)計(jì)異常檢測(cè)電路時(shí),應(yīng)充分注意在關(guān)閉除靜電本體的電源后1
秒鐘內(nèi)不檢測(cè)除靜電器的異常輸出。
:H.V關(guān)閉的狀態(tài)下打開(kāi)或關(guān)閉除靜電器時(shí)也相同。
2:上述任一情況均不會(huì)影響除靜電器的性能。
除靜電特性為本公司測(cè)定的參考值,并非值。
內(nèi)置有小型高壓電源,可以使用電壓DC電源。
無(wú)需專用的高壓電源或高壓配線,不會(huì)出現(xiàn)外露配線的高壓故障。
可以準(zhǔn)確地對(duì)目標(biāo)點(diǎn)進(jìn)行點(diǎn)狀除電。
由于利用軟管或金屬管可以接近產(chǎn)品,因此可以迅速地對(duì)目標(biāo)點(diǎn)進(jìn)行除靜電。
與帶電物體之間的小距離僅為1mm。
在距離100mm處,從±1000V到±100V的衰減時(shí)間不到1秒種。
(使用標(biāo)準(zhǔn)噴嘴,施加0.1MPa時(shí))
由于在離子吹風(fēng)口沒(méi)有集中電場(chǎng),因此不會(huì)對(duì)器件等造成破壞。
傳統(tǒng)的除靜電器會(huì)因高壓電而產(chǎn)生電場(chǎng),
一旦靠近除靜電器的話,便可能會(huì)導(dǎo)致器件損壞。
而小金井的除靜電器不會(huì)對(duì)器件等造成破壞。
輸出電壓,因此幾乎不會(huì)發(fā)生雜波干擾。
符合EN55011:1998 Group1 ClassA。
產(chǎn)生離子的高壓系統(tǒng)出現(xiàn)異常時(shí)會(huì)輸出警報(bào)。
可以防止因除靜電器的除電不良而引起的產(chǎn)品質(zhì)量問(wèn)題。此外,可以選擇a接點(diǎn)或b接點(diǎn)。
CE標(biāo)志符合產(chǎn)品。
過(guò)濾器的IN口(Rc1/8、Rc1/4)為鋁合金制。請(qǐng)勿使用鋼管等進(jìn)行
配管,以免作用過(guò)大的力。
過(guò)濾器的使用目的是為了去除固體物質(zhì),因此除此以外的水分油分應(yīng)事先去除。
配管時(shí),應(yīng)注意確??諝庖詷?biāo)簽內(nèi)的黑色箭頭的方向流動(dòng)。(請(qǐng)勿反向使用。)
止回閥會(huì)產(chǎn)生粒徑0.3μm以上、每1cf/min 50個(gè)以下的發(fā)塵。
請(qǐng)勿接入斷續(xù)的空氣(間歇?jiǎng)幼鳎?/p>
否則,可能會(huì)損壞過(guò)濾膜。
以往用軟管或金屬管不能運(yùn)送離子現(xiàn)成為可能。
即使是無(wú)法安裝除靜電器的地方也可進(jìn)行除靜電。
備有控制器。
備有用于去除固體雜質(zhì)的管路過(guò)濾器(PLF100)和壓力調(diào)節(jié)用調(diào)壓閥,
可對(duì)噴嘴式除靜電器的電源和空氣的ON、OFF進(jìn)行一體控制。
零件進(jìn)料器在運(yùn)送零件時(shí),會(huì)因零件的摩擦等原因而產(chǎn)生靜電,
從而導(dǎo)致零件粘附在進(jìn)料器表面上。
通過(guò)使用除靜電器,可以防止靜電引起的零件粘附供應(yīng)不暢的
現(xiàn)象。
此外,也可通過(guò)與風(fēng)扇式除靜電器一起使用來(lái)進(jìn)行除靜電。
使用離子風(fēng)排放角度較大的花灑式噴嘴等,可以除去硅晶片等的
靜電。
與高頻電磁閥進(jìn)行組合后,便可通過(guò)高節(jié)拍的間歇式離子送
風(fēng)來(lái)除去靜電和灰塵。
噴頭品種增加,使用更方便。從微小范圍到寬廣區(qū)域,
均可高速有效地去除靜電。噴頭品種請(qǐng)參見(jiàn)P.18~P.19頁(yè)。
放電針單元的拆卸方便,提高了維護(hù)性。
使用控制單元后,可通過(guò)外部信號(hào)對(duì)電源及供氣的ON/OFF進(jìn)行一體化控制。
通過(guò)控制器的設(shè)定,可間歇(5Hz或10Hz)吹出離子風(fēng)。通過(guò)間歇吹出離子風(fēng),可提高除塵效果。
帶有可通知除靜電器運(yùn)行時(shí)間的清潔定時(shí)器。運(yùn)行300小時(shí)或500小時(shí)后,通過(guò)LED
指示燈和輸出進(jìn)行通知,因此可作為清潔的大致標(biāo)準(zhǔn)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)參見(jiàn)17頁(yè)。
※清潔時(shí)間根據(jù)使用環(huán)境而不同。
將EP監(jiān)視器的SW輸出接至控制器的SIGNAL端子,控制除靜電器
的放電和空氣的ON/OFF。
使用控制單元電磁閥的間歇?jiǎng)幼鞴δ埽瑢㈤g歇離子風(fēng)吹到工
件上,可提高除塵效果。
不含除靜電器和外部連接設(shè)備。
控制輸入的關(guān)閉時(shí)間應(yīng)使用200ms以上。
可連接的電磁閥容量。電磁閥采用直動(dòng)閥,應(yīng)使用防浪涌產(chǎn)品及潤(rùn)滑脂用量少的產(chǎn)品。
除靜電器的清潔時(shí)間根據(jù)使用環(huán)境而不同。清潔定時(shí)器可作為大致標(biāo)準(zhǔn)使用。
請(qǐng)?jiān)诔o電器的使用壓力范圍內(nèi)使用。
DTY-ZKCRU(控制單元)為DTY-ZKCR(控制器)和電磁閥的組合產(chǎn)品。電磁閥的耐久性因使用條件而與除靜電器不同。
用于發(fā)塵型時(shí),會(huì)有來(lái)自電磁閥的發(fā)塵,請(qǐng)加以注意。
間歇?jiǎng)幼鲿r(shí),若電磁閥至除靜電器的配管距離過(guò)長(zhǎng),可能不能得到間歇空氣的效果,請(qǐng)加以注意。
測(cè)定方法采用20pF、□150mm的帶電平板監(jiān)測(cè)儀,按本公司的測(cè)定條件進(jìn)行測(cè)定。
除靜電時(shí)間為±1000V~±100V的衰減時(shí)間。
使用雙頭型除靜電器和橡膠軟管噴頭,可以除去CD、DVD等的
兩個(gè)表面上的靜電和灰塵。
使用直棒式噴頭,可以除去面積較大的搬運(yùn)托盤(pán)等的靜電。
使用雙頭型除靜電器和橡膠軟管噴頭,可以防止因噴墨印刷過(guò)
程中產(chǎn)生的靜電而造成的印刷質(zhì)量問(wèn)題。
通過(guò)更換扇格,可以選擇除靜電范圍。
(注:請(qǐng)事先除去水分和油分)
可以防止從晶片盒中取出硅晶片時(shí)的放電,并預(yù)防放入晶片盒后
的硅晶片被機(jī)械臂吸住。
可以防止硅晶片表面吸附灰塵,并預(yù)防內(nèi)部晶格損壞。
扇格及放電針部件可以拆卸,因而使維護(hù)性大為提高。
可利用風(fēng)量調(diào)節(jié)旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)風(fēng)量。
采用高頻AC方式,實(shí)現(xiàn)了的電離平衡。(±10V以內(nèi))
CE標(biāo)志符合產(chǎn)品。
安裝時(shí),請(qǐng)勿對(duì)產(chǎn)品使用5mm以上的安裝螺絲。否則安裝螺絲可能
會(huì)碰到產(chǎn)品內(nèi)部電路板,從而導(dǎo)致?lián)p壞。(恒定風(fēng)量風(fēng)扇式時(shí))
在設(shè)置產(chǎn)品時(shí),請(qǐng)確保留有一定空間,以免堵塞吸入口。
在檢查清潔和維修產(chǎn)品時(shí),請(qǐng)務(wù)必先將電源電纜線從連接插頭上
拔下。
放電針頂端部非常尖銳,在拆卸放電針部件或進(jìn)行清潔時(shí)請(qǐng)務(wù)必小
心,否則可能會(huì)導(dǎo)致受傷。另外,請(qǐng)注意不要彎曲或彎折放電針,否則
會(huì)導(dǎo)致性能下降。
請(qǐng)勿分解放電針部件。放電針頂端非常尖銳,可能會(huì)導(dǎo)致受傷。
倘若使用環(huán)境惡劣(如濕度過(guò)高的環(huán)境等)或是一直不清潔放電針的
話,則會(huì)造成性能下降,因此必須定期進(jìn)行維護(hù)。關(guān)于維護(hù)方法請(qǐng)參
閱產(chǎn)品附帶的使用說(shuō)明書(shū)。
如要在外部執(zhí)行電源ON/OFF,請(qǐng)?jiān)谳斎腚娫磦?cè)(DC+24V側(cè))進(jìn)行
操作。
使用直管螺旋噴頭,可以除去容器內(nèi)部的靜電。雜波干擾
不會(huì)因放電針產(chǎn)生的感應(yīng)電場(chǎng)而導(dǎo)致元件損壞??梢葬槍?duì)局部范圍進(jìn)行除靜電。
(由于使用了軟管,因而可以讓噴頭靠近器件)
在狹窄的場(chǎng)所,可以使用U型管噴頭來(lái)除
去薄膜兩面的靜電。
使用雙頭型除靜電器和2根直棒式噴頭,
可以除去FPD用玻璃等的靜電。
可以通過(guò)從輸送管道的側(cè)面插入管子/軟
管來(lái)除去內(nèi)部的靜電。
以60°或90°的角度來(lái)噴射離子風(fēng)。
以90°的角度來(lái)噴射離子風(fēng),
可以除去面積較大物體的靜電。
可以對(duì)大范圍區(qū)域進(jìn)行除靜電。
備有除靜電范圍為100~500mm的5種類型可供選擇。
可同時(shí)除去薄膜兩面的靜電。
無(wú)需供應(yīng)壓縮空氣。根據(jù)設(shè)置場(chǎng)所和用途的不同,共有3種類型可供選擇。
結(jié)構(gòu)方式標(biāo)準(zhǔn)型真空吸盤(pán)KOGANEI,小金井檢測(cè)方式
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