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采用直線(xiàn)電機(jī)，使搬運(yùn)、推送和長(zhǎng)度測(cè)量系統(tǒng)小型化。
?厚度：9mm，質(zhì)量：130g（行程10mm時(shí)）。
定位運(yùn)行 重復(fù)定位精度(μm)
注4)注5) ±90 ±5 ±90 ±5 ±90 ±5
?推進(jìn)測(cè)長(zhǎng)精度：±10μm。
?較高使用頻率：500cpm。
行程(mm) 10 20 30
電機(jī)
方式 可動(dòng)磁鐵型線(xiàn)性電機(jī)
壓觸運(yùn)行 壓觸速度(mm/s) 6
質(zhì)量(g)
注7) 130 190 250
滑臺(tái)質(zhì)量(g) 50 70 90?較大推力：6N。
?重復(fù)定位精度：±5μm。
瞬時(shí)較大推力(N)
注1)注2)注3) 5.2 6 5.5
連續(xù)推力(N)
注1)注2)注3) 3 2.8 2.6
導(dǎo)軌 方式 滾珠循環(huán)式直動(dòng)導(dǎo)軌
較大負(fù)載質(zhì)量(g) 水平時(shí)500、垂直時(shí)100 水平時(shí)500、垂直時(shí)50
傳感器
方式 光學(xué)式線(xiàn)性編碼器(相對(duì)增量式)
分辨率(μm) 30 1.25 30 1.25 30 1.25
原點(diǎn)信號(hào) 無(wú) 有 無(wú) 有 無(wú) 有
推力設(shè)定值注1)注2)注3) 1~5 1~4.8 1~3.9
測(cè)量長(zhǎng)度 精度(μm)
注4)注5) ±100 ±10 ±100 ±10 ±100 ±10
較高速度(mm/s)
注6) 400
使用溫度范圍(℃) 5~40(未結(jié)露)
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