量程選擇自封式快換接頭SMC，CP96SDB63-250C

放出氣體量少。重金屬污染少。

無氣體積留的遺體鑄造結構。

鋁制高真空L型閥，安裝上具有與XL系列的互換性（XM系列）。

使用壓力：1×10-6Pa(abs)

泄漏量：內部1.3×10-9Pa?m3/s、外部1.3×10-11Pa?m3/s。

有2種接頭和內螺紋可選。洗凈后可重復使用。采用鋁制主體。

受熱升溫均勻。重量輕、外形緊湊。放出氣體少。

重金屬污染少。可更換波紋管。耐氟。

維護性提高波紋管更換更容易

可通過頂部拆裝們（訂制規(guī)格）

用于半導體等需要高潔凈度氣體的行業(yè)。

消耗功率：多削減25％。

質量：多減小18％　0.5kg→0.41kg。

閥與針閥一體化，配管空間為原來的1/4。

密封部采用金屬膜片，大幅減少了微粒的產生。

初始供氣、主給気可同時進行流量調節(jié)。

在半導體裝置等中、適合用作負載鎖定室

和搬送室以及搬送室和過程處理室之間的隔斷閥。

長壽命：300萬次（常溫時）

發(fā)塵量：減少至1/5以下（與以前型號相比）

機械強度大、耐壓能力強、耐腐蝕性強。

可機械加工、鉚接、釬接、焊接及同時燒結。

可作為氣體的切斷閥使用。

接觸氣體部分無彈簧，驅動部也使用膜片隔離，

因此減小了氣路的死區(qū)，抑制了粒子的產生。

用于洗凈及潔凈室組裝。

全部產品均經(jīng)過了氦氣泄漏檢測。

符合SEMI規(guī)格采用方便作業(yè)的鍛造主體。

操做通口為M5螺紋（AK3542, 4542）。

手輪構造經(jīng)過改良、實現(xiàn)了產品的小型、輕量化（AK3652, 4652）。

采用有凹凸的圓形手輪，更便于操作和確認（AK3652, 4652）。

從半導體到一般行業(yè)均可使用的標準型。

產品體型小、重量輕。安全對策采用機械式端鎖機構

適合半導體等需要供給高潔凈度氣體的行業(yè)。

主體材質為SUS316L二次熔煉或SUS316L。

接觸氣體部分經(jīng)過電解研磨處理。

外部金屬密封構造。

從半導體到一般行業(yè)都可使用的標準型。

主體材質可根據(jù)流體選擇SUS316或黃銅。

質量：0.52kg、高：97.5mm。

內部容積小，其體積存量少。

配管擴展品［單向閥］防止背壓使流體逆流。

構造簡單，內部的可動零部件僅為O形圈。

采用無彈簧的構造，可減少因震顫等產生的顆粒，降下游的壓力變動。

［真空發(fā)生器］真空發(fā)生器。

用于更換氣罐時，排出配管中殘余的氣體。［流量開關］

檢測配管破裂等造成的過剩流量。

全系列的配管連接均可選擇Rc, R或NPT。

從半導體到一般行業(yè)都可使用的標準型。可用于洗凈。

降執(zhí)行器的高度，實現(xiàn)產品的小型、輕量化（AK3542, 4542）。

可從壓縮接頭、NPT內螺紋、Rc螺紋中選擇。

量程選擇自封式快換接頭SMC，CP96SDB63-250C