技術(shù)資料：CKD小型過(guò)濾器，喜開(kāi)理管線直裝過(guò)濾器

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CKD過(guò)濾器資料說(shuō)明

小型 高響應(yīng)。

在確認(rèn)吸附電子部件中發(fā)揮威力。

應(yīng)用硅微觀加工的白金傳感器觸頭

新方案的整流機(jī)構(gòu)，實(shí)現(xiàn)了以前所沒(méi)有的小型·高速響應(yīng)。適合確認(rèn)電子部件的吸附，各種N2凈化氣體流量管理等熱式流量傳感器·快速流動(dòng)

FSM系

流量傳感器的選定方法

使用流量傳感器進(jìn)行吸附噴嘴的吸附、確認(rèn)離脫、檢查泄漏等時(shí)，請(qǐng)作為選定流量范圍的大致標(biāo)準(zhǔn)。

根據(jù)噴嘴（氣孔）的有效截面積及噴嘴內(nèi)外的壓力差，可計(jì)算流

?。?：流量 /min

P1：1次側(cè)壓力 MPa

P2：2次側(cè)壓力 MPa

S ：噴嘴（氣孔）的有效截面積 mm2

P2：真空

P1：大氣壓

下表表示噴嘴的直徑為φ0.1～2，P2可變時(shí)的流量計(jì)算值。

P1：加壓

P2：大氣壓

P1：大氣壓

注意）

　?配管等有泄漏時(shí)，實(shí)際流量比計(jì)算值大。選定流量時(shí)，請(qǐng)考慮配管的泄漏量。

　?配管途中，有比吸附噴嘴直徑細(xì)的部分時(shí)，流量被節(jié)流，流量比計(jì)算值。

　?有可能不能進(jìn)行吸附確認(rèn)。

　?有效截面積為大致標(biāo)準(zhǔn)。噴嘴細(xì)長(zhǎng)時(shí)，有效截面積比比噴嘴的開(kāi)口面積小。

　?應(yīng)答速度由從流量傳感器到噴嘴（氣孔）的配管內(nèi)容積決定。進(jìn)行高速檢測(cè)時(shí)，將流量傳感器配置在吸附噴嘴附近等，

 盡量使配管的內(nèi)容積縮小。

　?配管等有泄漏時(shí)，實(shí)際流量比計(jì)算值大。選定流量時(shí)，請(qǐng)考慮配管的泄漏量。

　?配管途中，有比吸附噴嘴直徑細(xì)的部分時(shí)，流量被節(jié)流，流量比計(jì)算值。

　?有可能不能進(jìn)行吸附確認(rèn)。

　?有效截面積為大致標(biāo)準(zhǔn)。噴嘴細(xì)長(zhǎng)時(shí)，有效截面積比比噴嘴的開(kāi)口面積小。

　?應(yīng)答速度由從流量傳感器到噴嘴（氣孔）的配管內(nèi)容積決定。進(jìn)行高速檢測(cè)時(shí)，將流量傳感器配置在吸附噴嘴附近等，

 盡量使配管的內(nèi)容積縮小。

流量計(jì)算值（ /min）

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